구매 장비 규격서

□ 장비구매 목록

구분	물품세부 품명번호	장비명	용 도	수량
1	4111533901 (일립소미터)	반도체 교육센터 일립소미터(Ellipsometer) 장비 구매	빛의 편광상태를 제어, 측정하는 초정밀 metrology 장비로써 박막의 두께 및 굴절률, 물질의 조성비에 매우 민감하게 반응하여 원자 크기 이하의 두께 차이를 검출할 수 있는 sub Å의 정밀도를 갖는 첨단 광 계측장비	1EA
- 제출 방법 및 담당자: 온라인 메일(shh226@gwtp.or.kr)로 제출 후 반드시 유선 확인 ※ (담당) 홍석환 선임연구원, 033-375-4603

□ 장비 규격 안내 및 준수사항

1. 장비 별 Spec

장비명	사양	수량
반도체 교육센터 일립소미터(Ellipsometer) 장비 구매	기본성능 a. 측정 파장 영역: 220 nm ~ 1,000 nm b. 측정 빔 사이즈:≦ 1.5 mm (1.5 mm X 3.8 mm) c. 측정 항목: 박막 두께, 파장별 굴절률, 흡수계수 등 d. 측정 범위: sub Å ~ 10 μm (depends on film type) e. 측정 가능 적층 수: Up to 10 layers (depends on film type) f. 측정 속도: ~8 sec. per point (depends on film type, 220nm~ 1,000nm) g. 반복 재현성: 0.3 Å on 10 times measurement (Standard Sample SiO2) h. 8 Inch Auto mapping stage (2D,3D R-θ Type automated,200mm) 2. 시스템 구성 A. Spectroscopic Ellipsometer Unit 1. Light Source (LED lamp & Deuterium lamp) 2. UV Micro Stepping Polarizer Module 3. Retarder Module 4. Controls and Electronics Module 5. UV Micro Stepping Analyzer Module 6. Software 7. PC system 8. Spectrograph System (220nm ~ 1,000nm) 9. Manual Variable Angle (45°~90°, 5° step) 10. Z-tilt Axis Sample plate 11. Collimating system 12. 8 inch Auto Mapping Stage (200mm, R-θ Type) 3. 상세사양 A. Spectroscopic Ellipsometer Unit 1. Light Source - LED & Deuterium lamp (220 nm ~ 1,000 nm) - Collimating lens system 2. UV Micro stepping Polarizer module - Achromatic Optic system - Micro Stepping motor control - Wobble free cubic polarizer - Glan-Thompson Prism Polarizer - Collimating fused silica optic system - Beam Deviation : 3 arc minutes 3. Retarder Module - λ/4 Retarder - Beam deviation ≤1 arc min 4. Controls and Electronics Module - Stepping motor driver & DC power supply - Control TTL circuits & DC power supply 5. UV Micro stepping Analyzer module - Achromatic Optic system - Micro Stepping motor control - Wobble free cubic polarizer - Glan-Thompson Prism Polarizer - Collimating fused silica optic system - Beam Deviation : 3 arc minutes 6. Software - GUI for user - Operation & Analysis Software - Job selection / Job Editor - Measurement result / Status / Error history / Display - Initialization, Calibration, Measurement. - Automatic control & data collection - Data analysis : (n, k, λ) & Thickness - Simulation : (λ,Δ,ψ), (n, k, λ), etc. - Multi layer modeling 7. PC System - Optimized System with 24" Monitor and Mouse, Keyboard - Window 10 - Intel Quard Core i5-7 - samsung DDR3 4GB Memory - SSD Samsung EVO 500GB , HDD 1TB - ICE-MAN 500T 8. Spectrograph - Wavelength range 220 nm ~ 1,000 nm (CCD Type) - Resolution : 1.5 nm FWHM - PC Interface: USB 1.1/2.0 Compatible - Dynamic Range: 16Bit (0~65535) 9. Angle of incidence - Manually variable angle of incidence - 45˚~ 90˚ (5˚ Step) 10. 8 inch Sample plate - 200mm, Z–Tilt Axis - Z-Axis : Flat type micro fine pitch screws - Travel size : 10mm - Tilt-Axis : three axis tilt platforms - Travel :+-3˚ 11. Collimating system - Auto Collimator 12. Auto Mapping Stage - 2D, 3D Auto Mapping Stage - 8 inch (200 mm Circle type), Mapping Software - R-θ Type automated movement stage - Automatic Stage Control	1EA

2. 준수사항

○ 납품 설치 및 시운전 포함, 교육은 제조사에서 교육받은 엔지니어에 의해 무상으로 실시할 것(현장 교육 포함)

○ 각 구성품에 대한 교육 및 안전메뉴얼을 포함 할 것

○ 계약□공급자는 운영교육까지 일괄납품하여야 할 것

○ 운영, 유지□보수가 필요하다고 판단되거나, 수정을 해야 할 필요가 있을 경우 계약□공급자가 모든비용을 부담할 것

○ 설치 후 1년간 하자보수 제공(제품 보증기간: 12개월)

○ 공급자는 계약 후 180일 이내, 지정한 장소에 설치하도록 함

3. 기타조건

○ 일립소미터(4111533901)를 공급물품으로 입찰 참가 등록한 업체

○ 장비 납품 실적 증빙이 가능한 기업