구매 장비 규격서

□ 장비구매 목록

구분	물품세부 품명번호	장비명	용 도	수량
1	4111162301 (두께 측정기)	반도체 교육센터 단차측정기 장비 구매	장비에 장착된 탐침이 기재 표면을 직접 접촉하여 지나감으로써 표면 단차의 미세한 변화를 LVDT를 이용한 압력을 감지하여, 그 단차의 두께, 폭, 거칠기 및 응력 등을 측정 및 분석하는 장치임 Wafer, MEMS, Ceramics, SIMS, LED를 포함한 다양한 표면에 대한 2D 및 3D 측정과 분석에 대한 결과를 제공함	1EA
- 제출 방법 및 담당자: 온라인 메일(shh226@gwtp.or.kr)로 제출 후 반드시 유선 확인 ※ (담당) 홍석환 선임연구원, 033-375-4603

□ 장비 규격 안내 및 준수사항

1. 장비 별 Spec

장비명	사양	수량
반도체 교육센터 단차측정기 장비 구매	o 주요사양 - 측정 방법 : LVDT, Linear Variable Differential Transformer - 스타일러스 팁 사이즈 : 2um 또는 12.5um 중 택1 (Stylus Radius options 50nm ~ 25um available) - 스트레스 분석 : 박막의 tensile & compressive 스트레스 측정 분석 가능 - 최대 스캔 길이 : 200mm - 샘플 X/Y 스테이지: 전동식 200mm wafer, 수동 기울기 조절 데이터 포인트 : 최대 120,000개 수직 분해능 : Max. 1Å (at 6.55 um range) 단차 측정 반복도 : 4Å (1sigma on step < 1um) 스타일러스 포스 (측정시 압력): 1 - 15mg with LIS 3 sensor 수직 측정 범위: 1mm (0.039in.) 표준 시편: 단차 표준시편 940nm 측정 영역: 150mm x 150mm o 사용용도 - 박막 소재/소자의 두께 측정 및 거칠기, 응력 등을 2차원/3차원 데이터로 측정함	1EA

2. 준수사항

○ 납품 설치 및 시운전 포함, 교육은 제조사에서 교육받은 엔지니어에 의해 무상으로 실시할 것(현장 교육 포함)

○ 각 구성품에 대한 교육 및 안전메뉴얼을 포함 할 것

○ 계약□공급자는 운영교육까지 일괄납품하여야 할 것

○ 운영, 유지□보수가 필요하다고 판단되거나, 수정을 해야 할 필요가 있을 경우 계약□공급자가 모든비용을 부담할 것

○ 설치 후 1년간 하자보수 제공(제품 보증기간: 12개월)

○ 공급자는 계약 후 180일 이내, 지정한 장소에 설치하도록 함

3. 기타조건

○ 두께 측정기(4111162301)를 공급물품으로 입찰 참가 등록한 업체

○ 장비 납품 실적 증빙이 가능한 기업